ペリクル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本亮一 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-379723
公開番号（公開出願番号）：特開2002-182371
出願日： 2000年12月14日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】露光光ないし乱反射光による粘着剤もしくは接着剤からの分解物がペリクルとレチクルに囲まれた空間に放出されない構造のペリクルを提供する。【解決手段】ペリクルをレチクル5に装着するための粘着剤層4およびペリクル膜1をペリクルフレーム3に接着する接着剤層2のうち少なくとも一つの層を、ペリクルとレチクル5に囲まれた空間からの乱反射光から、遮蔽するための遮蔽手段を設ける。また、同じく少なくとも一つの層を、ペリクルとレチクル5に囲まれた空間に対し、密閉するするための手段を設ける。前記遮蔽手段が、ペリクルフレーム3の少なくとも一つの端面に設けられた突起7であること、あるいは、同じく少なくとも一つの端面のペリクル内部に面した側に塗布した耐光性の高いポリマーであることが好ましい。

請求項（抜粋）：

リソグラフィーに用いられるペリクルにおいて、ペリクルをレチクルに装着するための粘着剤層およびペリクル膜をペリクルフレームに接着する接着剤層のうち少なくとも一つの層を、ペリクルとレチクルに囲まれた空間からの乱反射光から、遮蔽するための遮蔽手段を設けたことを特徴とするペリクル。

Fターム (1件)：

2H095BC39

引用特許：

出願人引用 (5件)

ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-369633 出願人：日本電気株式会社
ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-290510 出願人：沖電気工業株式会社
ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215986 出願人：三菱電機株式会社

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審査官引用 (5件)

ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-369633 出願人：日本電気株式会社
ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-290510 出願人：沖電気工業株式会社
ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215986 出願人：三菱電機株式会社

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