特許
J-GLOBAL ID：200903005624418376
遠紫外線露光用感光性樹脂組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298879
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142777
出願日： 1996年11月11日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 170〜220nmの波長という遠紫外領域の露光光とする縮小投影型露光方式の露光機器を使用したリソグラフィーにおいて好適な遠紫外線露光用感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 特定の光酸発生剤と、酸によりアルカリ現像液に対する溶解性を増大させる置換基を有する樹脂とを含有し、かつ製膜した場合の塗膜の1.0μm当たりの、170〜220nmの波長の露光光に対する光学濃度が0.40μm-1以下である、170〜220nmの遠紫外線露光用感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
下記一般式[I]〜[VII]で表される光酸発生剤と、酸によりアルカリ現像液に対する溶解性を増大させる置換基を有する樹脂とを含有し、かつ製膜した場合の塗膜の1.0μm当たりの、170〜220nmの波長の露光光に対する光学濃度が0.40μm-1以下であることを満足することを特徴とする170〜220nmの遠紫外線露光用感光性樹脂組成物。【化1】式中、R1 およびR2 は、それぞれ他から独立に、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基、Aは-SO2 -または-CO-を表す。【化2】式中、R3 およびR4 は、それぞれ他から独立に、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基、R5 およびR6 は、それぞれ他から独立に、水素原子、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基を表す。【化3】式中、R7 およびR8 は、それぞれ他から独立に、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基、R9 およびR10は、それぞれ他から独立に、水素原子、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基を表す。mは1又は2の整数を表す。【化4】式中、R11、R12およびR13は、それぞれ他から独立に、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基を表す。【化5】式中、R14はアルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基、R15およびR16は、それぞれ他から独立に、水素原子、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基、シアノ基(但し、少なくとも一方はアルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基である)を表す。【化6】式中、R17およびR18は、それぞれ他から独立に、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基を表す。【化7】式中、R19およびR20は、それぞれ他から独立に、アルキル基、置換アルキル基、シクロアルキル基、置換シクロアルキル基を表す。
IPC (3件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/004 503 A
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
