基板搬送装置及び基板搬送方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩原康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-152241
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031732
出願日： 1998年05月15日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】簡単な構造でありながら基板への汚染物質の再付着を確実に防ぐことができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】アーム21を移動させ,アーム21上に載せた状態で処理部4に対して基板Wを搬入出させる基板搬送装置2において,基板Wを支持するための第一の支持手段31と第二の支持手段32をアーム21の上面に配置し,基板を処理部4まで搬送する際には,例えば第一の支持手段31によって基板Wの下面を支持し,また,処理部4において処理済みの基板Wを搬出する際には,例えば第二の支持手段32によって基板Wの下面を支持する。このように処理前の基板Wと処理後の基板Wを同じアーム21の上面において別々の支持手段31,32で支持することによって,汚染物質の再付着を防ぐ。

請求項（抜粋）：

アームを移動させ,該アーム上に載せた状態で処理部に対して基板を搬入出させる基板搬送装置において,基板を支持するための第一の支持手段と第二の支持手段をアームの上面に配置したことを特徴とする,基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 E

引用特許：

出願人引用 (5件)

ウエハ移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166480 出願人：ソニー株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-239077 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-083299 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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審査官引用 (5件)

ウエハ移載装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166480 出願人：ソニー株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-239077 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-083299 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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