深紫外レーザー装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：上島淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-271310
公開番号（公開出願番号）：特開2007-086101
出願日： 2005年09月20日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】深紫外域の波長の深紫外レーザー光を効率よく発生させ、高出力化する。【解決手段】波長が1064.0〜1065.0nmの半導体レーザー光を光ファイバー増幅器によって増幅したレーザー光の第4高調波と、波長が1557.0〜1571.0nmの半導体レーザー光を光ファイバー増幅器によって増幅したレーザ光との和周波混合により波長約227nmのレーザー光を得て、さらにこのレーザー光と上記した波長1557.0〜1571.0nmのレーザー光との和周波混合により波長198.4〜198.7nmのレーザー光を得る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

波長1064.0〜1065.0nmのレーザー光を出射する第1の半導体レーザーと、波長1557.0〜1571.0nmのレーザー光を出射する第2の半導体レーザーと、前記第1の半導体レーザーと前記第2の半導体レーザーとを駆動するパルス電流を印加するパルス電流源と、前記第1の半導体レーザーから出射された波長1064.0〜1065.0nmのレーザー光を増幅する第1の光ファイバー増幅器と、前記第2の半導体レーザーから出射された波長1557.0〜1571.0nmのレーザー光を増幅する第2の光ファイバー増幅器と、前記第1の光ファイバー増幅器から出射された波長1064.0〜1065.0nmのレーザー光を入射して第2高調波発生により、波長1064.0〜1065.0nmのレーザー光の第2高調波を出射する第1の非線形光学結晶と、前記第1の非線形光学結晶から出射された前記第2高調波を入射して第2高調波発生により、波長1064.0〜1065.0nmのレーザー光の第4高調波を出射する第2の非線形光学結晶と、前記第2の非線形光学結晶から出射された前記第4高調波と前記第2の光ファイバー増幅器から出射された波長1557.0〜1571.0nmのレーザー光とを入射して和周波発生により波長変換されたレーザー光を出射する第3の非線形光学結晶と、前記第3の非線形光学結晶から出射された前記波長変換されたレーザー光と前記第3の非線形光学結晶による和周波発生に寄与しないで前記第3の非線形光学結晶を透過した波長1557.0〜1571.0nmのレーザー光とを入射して、和周波発生による波長変換により波長198.4〜198.7nmのレーザー光を出射する第4の非線形光学結晶とを有することを特徴とする深紫外レーザー装置。

IPC (3件)：

G02F 1/37 , H01S 3/109 , H01S 3/10

FI (3件)：

G02F1/37 , H01S3/109 , H01S3/10 Z

Fターム (12件)：

2K002AB12 , 2K002AB27 , 2K002BA04 , 2K002CA02 , 2K002HA20 , 5F172AF03 , 5F172AF06 , 5F172AM08 , 5F172DD06 , 5F172NR22 , 5F172NR24 , 5F172NS26

引用特許：

審査官引用 (4件)

光源装置及び光照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-189435 出願人：株式会社ニコン
レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-258124 出願人：株式会社ニコン, 古河電気工業株式会社
波長変換装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-054119 出願人：サイバーレーザー株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Appl.Phys.Lett., 20021111, Vol.81,No.20, 3732-3734

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