可干渉性動的焦点による光学コヒ-レンストモグラフィ-法及びその装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田省躬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087674
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002506
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】計測光の光路が簡単に確認および調整でき、また種々の構成部に現れる寄生的反射を容易に回避でき、その上計測光路内の反射損失が少なく、それにより信号対雑音比の関係も改善される、可干渉性動的焦点に基づく調整容易な光学コヒーレンストモグラフィー法【解決手段】計測光3を可動プレート鏡41近くに集束させ、傾斜角π以下に設定されたプレート鏡で被測定物体の方向へ反射させ、また計測光焦点40を可動プレート鏡及びその他レンズを通して焦点を移動したり計測光の光路長を変更したりして被測定物体に結像させる

請求項（抜粋）：

計測光36(図2)を、まず可動プレート鏡41近くに集束させ、傾斜角π(α)以下に設定された当プレート鏡で被測定物体の方向へ反射させ、また計測光焦点40を可動プレート鏡41及びその他のレンズを通して被測定物体に結像させることを特徴とし、光の反射位置を参照光による干渉に必要な光路長としての物体内計測光に沿ってそれぞれ参照腕において測定する短コヒーレンス干渉計の計測光を用い、その計測光を辿って行った観察物体の走査、透過に基づき反射箇所の位置を記録することを基礎とする、横方向分解能を高めたコヒーレンストモグラフィー法であって、横方向分解能を最大限上げるために計測光はそれぞれ観察物体の反射位置に集束させ、また、この焦点を測定長に沿って動かす場合は参照光に対して可干渉性を維持し、さらには、必要となるこの焦点移動及び参照光に対する可干渉性の確保に必要な光路長補正が唯一の光学部材を動かすことによって実現する可干渉性動的焦点による光学コヒーレンストモグラフィー法

引用特許：

審査官引用 (4件)

動的コヒーレント焦点によるコヒーレンス生物測定及び断層撮影の方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-182857 出願人：カールツァイスイエナゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
球体表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-078145 出願人：日本精工株式会社
表面形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-344525 出願人：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社

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