レーザ光発生方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：逢坂宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052271
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251666
出願日： 1998年03月04日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】簡易な構成で波長約193nmのレーザ光を発生すること。【解決手段】 Nd:YAGレーザから出射された波長946nmのレーザ光の第4高調波である波長236.5nmのレーザ光(e)と、Nd:YAGレーザ又はNd:YLFレーザから出射された波長1047nm〜1064nmのレーザ光(g)とを和周波混合して波長約193nmのレーザ光を発生する。

請求項（抜粋）：

波長236.5nmのレーザ光と、波長1047nm〜1064nmのレーザ光とを非線形光学効果を利用して混合せしめ、波長192.9nm〜193.5nmのレーザ光を発生させる、レーザ光発生方法。

引用特許：

審査官引用 (9件)

光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-315087 出願人：株式会社ニコン
第4高調波発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-256484 出願人：イビデン株式会社
レーザ光発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-005425 出願人：ソニー株式会社

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