特許
J-GLOBAL ID：200903005801427313
樹脂エッチング液及びエッチング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271676
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097081
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 従来のエッチング液ではエッチングが困難なポリイミド樹脂についてもエッチングが可能なエッチング液、及び各種形態の樹脂の内、特に、ポリイミドフィルムのエッチングに好適なエッチング方法を得る。【解決手段】 オキシアルキルアミン及びアルカリ金属化合物を主成分とし、必要に応じて尿素、有機極性溶媒のいずれか一つ又は両方を添加せしめたエッチング液を用いる。なお、このエッチング液は、従来のエッチング液によってはエッチングが困難な、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とジアミノベンゼンとの重縮合により得られるポリイミド樹脂のエッチングに優先的に用いられ、このような樹脂製のポリイミドフィルムについては、エッチング液中に浸漬し、かつ、超音波を照射してエッチングするのが好ましい。
請求項（抜粋）：
少なくともオキシアルキルアミン及びアルカリ金属化合物を含有していることを特徴とする樹脂エッチング液。
IPC (3件)：
G03F 7/40 521
, C08J 7/00
, H05K 3/00
G03F 7/40 521
, C08J 7/00 A
, H05K 3/00 K
