紫外線レーザ用結像光学系

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-064489
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260349
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】高純度な合成石英ガラスやフッ化カルシウム結晶を用いて光学系を製作しても、スループットの高い結像光学系を組み上げることが容易ではなかった。【解決手段】石英ガラスからなる光学部材とフッ化カルシウム結晶からなる光学部材とから構成された紫外線レーザ用結像光学系において、石英ガラスおよびフッ化カルシウム結晶中のいずれのナトリウム濃度も0.1ppm以下に設定する。

請求項（抜粋）：

石英ガラスからなる光学部材及びフッ化カルシウム結晶からなる光学部材とから構成された紫外線レーザ用結像光学系において、石英ガラスおよびフッ化カルシウム結晶のそれぞれの部材中のナトリウム濃度を0.1ppm以下に設定したことを特徴とする紫外線レーザ用結像光学系。

IPC (6件)：

G02B 13/14 , C03C 3/06 , C30B 29/12 , H01L 21/027 , H01S 3/225 , G03F 7/20 502

FI (6件)：

G02B 13/14 , C03C 3/06 , C30B 29/12 , G03F 7/20 502 , H01L 21/30 515 D , H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (6件)

反射屈折縮小投影光学系及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-012502 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-121810
特開昭61-154128

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