特許
J-GLOBAL ID：200903005865179747
マイクロアクチュエータおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-133617
公開番号（公開出願番号）：特開平10-327588
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 耐衝撃性を高めるとともに、安価に製造することができ、また情報の読書きの誤差が少なく、信頼性の優れたマイクロアクチュエータ、その駆動方法および製造方法を提供する。【解決手段】 可動子3とばね4の周囲を固定子1,2によって取り囲むことにより、外力が可動子3に加わったり、異物が電極間に侵入しないようにする。
請求項（抜粋）：
固定子、可動子およびこの可動子を支持するばねを備えたマイクロアクチュエータにおいて、前記固定子によって前記可動子と前記ばねの周囲を取り囲んだことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (2件)：
H02N 1/00
, G11B 21/02 601
H02N 1/00
, G11B 21/02 601 G
