特許
J-GLOBAL ID：200903006074603550

露光量制御方法、デバイス製造方法および露光装置

発明者：
森 堅一郎

森 堅一郎 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047359
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237169
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 照度むらを発生させず、あるいは露光量制御精度を悪化させることなく、露光量制御のために必要なスペースを小さくする。【解決手段】 露光光源1から射出された露光光を、光強度均一化光学系4,6,7を介して原版10に照明し、照明された原版のパターンを基板12上に投影して露光するに際し、光強度均一化光学系のうちの最も原版に近いもの6,7よりも光源側において露光光から分岐した光束の照度を第1の照度計測手段20により計測し、この計測出力に基づいて基板に対する露光量の制御を行うとともに、基板とほぼ共役な位置において第2の照度計測手段16により照度を計測し、この計測出力に基づいて第1の照度計測手段の校正を行う。
請求項（抜粋）：
露光光源から射出された露光光を、光強度均一化光学系を介して原版に照明し、照明された原版のパターンを基板上に投影して露光するに際し、前記光強度均一化光学系のうちの最も前記原版に近いものよりも光源側において露光光から分岐した光束の照度を第1の照度計測手段により計測し、この計測出力に基づいて前記基板に対する露光量の制御を行うとともに、前記基板とほぼ共役な位置において第2の照度計測手段により照度を計測し、この計測出力に基づいて前記第1の照度計測手段の校正を行うことを特徴とする露光量制御方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (3件)：
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 515 Z
Fターム (12件)：
5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CB05 ,  5F046CB07 ,  5F046CB08 ,  5F046CB13 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DB11 ,  5F046DC02 ,  5F046DC12 ,  5F046DC14
引用特許：
審査官引用 (7件)
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