高純度感光性樹脂組成物の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-025587
公開番号（公開出願番号）：特開平7-005683
出願日： 1994年02月23日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【構成】キノンジアジド系感光性化合物及びアルカリ可溶性樹脂を有機溶媒に溶解してなる感光性樹脂組成物の製造方法において、キノンジアジド系感光性化合物及びアルカリ可溶性樹脂を、脂肪族カルボン酸エステル類、脂肪族ケトン類、脂肪族エーテル類、脂肪族エーテルエステル類、脂肪族ケトンエステル類、脂肪族ヒドロキシカルボン酸エステル類、脂肪族ヒドロキシケトン類、脂肪族エーテルケトン類及び脂肪族エーテルアルコール類からなる群から選ばれた少なくとも1種を主成分とする有機溶媒に溶解し、得られた溶液をH型のゲル型強酸性陽イオン交換樹脂と接触させる高純度感光性樹脂組成物の製造方法。【効果】本発明方法によれば、感度を低下することなく感光性樹脂組成物中の金属不純物含有量を低減することが可能である。

請求項（抜粋）：

キノンジアジド系感光性化合物及びアルカリ可溶性樹脂を有機溶媒に溶解してなる感光性樹脂組成物の製造方法において、キノンジアジド系感光性化合物及びアルカリ可溶性樹脂を、脂肪族カルボン酸エステル類、脂肪族ケトン類、脂肪族エーテル類、脂肪族エーテルエステル類、脂肪族ケトンエステル類、脂肪族ヒドロキシカルボン酸エステル類、脂肪族ヒドロキシケトン類、脂肪族エーテルケトン類及び脂肪族エーテルアルコール類からなる群から選ばれた少なくとも1種を主成分とする有機溶媒に溶解し、得られた溶液をH型のゲル型強酸性陽イオン交換樹脂と接触させることを特徴とする高純度感光性樹脂組成物の製造方法。

IPC (3件)：

G03F 7/022 , B01J 39/04 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (8件)

レジスト成分からの金属不純物除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-234494 出願人：オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
レジスト成分からの金属不純物の除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-234495 出願人：オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
レジスト成分からの不純物の除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-234496 出願人：オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド

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