特許
J-GLOBAL ID：200903006131975302
プラズマ処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227766
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067494
出願日： 1997年08月25日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】高周波アンテナは、処理チャンバ中のプラズマに対して、石英などの絶縁材を介して、大気側に配置されるが、チャンバ内部でのプラズマによるイオンの衝撃や化学的な反応等の加熱を抑え、絶縁材の真空シール部に用いられるフッ素ゴム等のOリング破損、リーク、フッ素系の異物の原因を除去する。【解決手段】円筒状の絶縁管8の周囲に高周波アンテナ12を配したプラズマ装置において、高周波アンテナのさらに外側にアンテナを横切るように切ったスリットを持つ円管状の金属部材15を設置し、ファン19等によって、この円管状部材と絶縁管に囲まれたアンテナの部分の空気を上部に送り、加熱あるいは冷却されるラジエータによってこの空気の温度を調節した後、スリット付きの円筒状部材の外側に送り、スリットから、アンテナおよび絶縁管に吹出すようにして、放電部の空気を循環させる。
請求項（抜粋）：
処理チャンバとガス導入手段と排気手段と高周波電源に接続されるプラズマ生成用の誘導アンテナを備えたプラズマ処理装置において、絶縁材料で形成された放電管あるいは、平板あるいはドームの近傍に誘導アンテナを配置し、前記アンテナの外側または上部を覆う囲い部材と、前記部材を覆うカバーと、前記放電管と前記部材によって囲まれる部分の空気を前記部材に設けられたスリットあるいは穴を通して循環させることによって放電管の温度調節を行うことを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (6件)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, H01L 21/31
H05H 1/46 L
, C23C 16/50
, C23F 4/00 A
, H01L 21/205
, H01L 21/31 C
, H01L 21/302 B
