特許
J-GLOBAL ID：200903006141176300
光像形成方法及びその装置、光加工装置並びに露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
黒田 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-150567
公開番号（公開出願番号）：特開平11-320963
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】 ダメージ防止マクス6を設けることにより、DMDの各ミラー間の間隙を通過した光によってDMD2が損傷されることがない光像形成方法及びその装置、光加工装置並びに露光装置を提供する。【解決手段】 光源1、DMD2、DMD2からの反射光を加工対象物5上に結像するマイクロレンズ3を有する光像形成装置と、加工パターンのデータに基づいてDMD2の各ミラーの反射面の傾きを制御する制御装置4とを設ける。上記光像形成装置は、光源1からDMD2に照射される光のうち各ミラー間の間隙に向かって進行しようとする光を遮る遮光部を有するダメージ防止マクス6を備える。
請求項（抜粋）：
反射面の傾きを独立制御可能な複数のミラーからなる空間光変調器に光源の光を照射し、該空間光変調器からの反射光を対象物上に結像することにより、該対象物上に光像を形成する光像形成方法であって、該光源から該空間光変調器に照射される光のうち各ミラー間の間隙に向かって進行しようとする光を遮ることを特徴とする光像形成方法。
IPC (5件)：
B41J 2/44
, B41J 2/45
, B41J 2/455
, G02B 26/08
, H04N 1/036
B41J 3/21 L
, G02B 26/08 E
, H04N 1/036 B
