特許

J-GLOBAL ID：200903006254636316

金属酸化物粒子およびカチオンポリマーを含有する金属表面の化学的機械研磨のための分散液

発明者： ヴォルフガング ロルツ ,  フランク メンツェル
出願人/特許権者： デグサ ゲーエムベーハー
代理人 (6件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  杉本 博司 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-505424
公開番号（公開出願番号）：特表2007-530749
出願日： 2005年03月16日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：

金属酸化物粉末およびカチオン表面活性ポリマーを含有する金属表面の化学的機械研磨のための水性分散液において、金属酸化物粉末が二酸化珪素、酸化アルミニウムまたは二酸化珪素と酸化アルミニウムとの金属酸化物であり、かつカチオン表面活性ポリマーが、分散液中に溶解され、かつ100,000g/モルの質量平均分子量を有するポリアリルアミンまたはポリジアリルアミンである。分散液は、絶縁バリア層に塗布する金属層および金属シートの化学的機械研磨に使用することができる。

請求項（抜粋）：

金属酸化物粉末およびカチオン表面活性ポリマーを含有する、金属表面の化学的機械研磨のための水性分散液において、金属酸化物粉末が、二酸化珪素、酸化アルミニウムまたは二酸化珪素と酸化アルミニウムとの混合酸化物であり、かつ、カチオン表面活性ポリマーが、分散液中に溶解され、かつ100,000g/モル未満の質量平均分子量を有するポリアリルアミンまたはポリジアリルアミンであることを特徴とする、金属表面の化学的機械研磨のための水性分散液。

IPC (3件)：

C09K 3/14 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00

FI (5件)：

C09K3/14 550D ,  C09K3/14 550Z ,  H01L21/304 622D ,  H01L21/304 622X ,  B24B37/00 H

Fターム (5件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 研磨液組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-226322   出願人：花王株式会社
• 酸化アルミニウムまたは酸化チタンを有する炎内加水分解により得られた二酸化珪素-混合酸化物粒子を含有する安定な水性分散液、その製造法、インキ吸収層を形成させるための刷毛塗り用塗料、その製造法、インキ吸収性媒体およびその製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-017910   出願人：デグサアクチエンゲゼルシャフト
• ケイ素-アルミニウム-混合酸化物粉末を含有する水性分散液、その製造方法並びにその使用
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-046607   出願人：デグサアクチエンゲゼルシャフト
• 研磨液組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-344825   出願人：株式会社日本触媒