特許
J-GLOBAL ID：200903038372074305
研磨液組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細田 芳徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-226322
公開番号（公開出願番号）：特開2003-041239
出願日： 2001年07月26日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：
【要約】【課題】研磨パッドの目詰まりを低減する研磨液組成物、該研磨液組成物を用いた研磨パッドの目詰まりを低減する方法及び前記研磨液組成物を用いて被研磨基板を研磨する工程を有する基板の製造方法を提供すること。【解決手段】研磨材と水を含有してなる研磨液組成物であって、沈降度指数が80以上、100以下である研磨液組成物、該研磨液組成物を用いて、研磨パッドの目詰まりを防止する方法、及び前記研磨液組成物を用いて、被研磨基板を研磨する工程を有する基板の製造方法。
請求項（抜粋）：
研磨材と水を含有してなる研磨液組成物であって、沈降度指数が80以上、100以下である研磨液組成物。
IPC (3件)：
C09K 3/14 550
, C09K 3/14
, B24B 37/00
C09K 3/14 550 C
, C09K 3/14 550 Z
, B24B 37/00 A
, B24B 37/00 H
3C058AA07
, 3C058AA19
, 3C058CA01
, 3C058CB02
, 3C058CB10
, 3C058DA02
, 3C058DA17
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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