基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高山宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-218362
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054588
出願日： 1997年07月30日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】付加的な工事等をすることなく、かつ装置の大型化をもたらすことなく、大型基板を搬送する場合の昇降部材の移動ストロークの増加に対応することができる基板搬送装置を提供すること。【解決手段】基板Sを支持する基板支持部材41と、基板支持部材41を進退移動可能に支持するベース部材42と、ベース部材42を水平面内で旋回可能に支持し、昇降可能に設けられた昇降部材43と、昇降部材43を片持ち状態で支持し、かつ昇降部材43の昇降移動の際に昇降部材43をガイドする支持・ガイド部材44とを有する。

請求項（抜粋）：

基板を支持する基板支持部材と、基板支持部材を水平方向に移動可能に支持するベース部材と、ベース部材を水平面内で旋回可能に支持し、昇降可能に設けられた昇降部材と、昇降部材を片持ち状態で支持し、かつ昇降部材の昇降移動の際に昇降部材をガイドする支持・ガイド部材とを具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/30 569 D

引用特許：

審査官引用 (11件)

基板搬送装置および中間受渡し装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-335280 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-231300 出願人：東京エレクトロン東北株式会社
特開平4-056338

全件表示

前のページに戻る