特許
J-GLOBAL ID：200903006491303216

無機ハロゲン化ガスを含有する排ガスの処理方法及び処理装置

発明者：
森 洋一

森 洋一 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-168572
公開番号（公開出願番号）：特開平11-070319
出願日： 1998年06月16日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 処理性能の低下がなく、しかもウェハーの大口径に対応できるだけの充分な処理量が得られる無機ハロゲン化ガスを含有する排ガスの処理方法を提供する。【解決手段】 無機ハロゲン化ガスを含有する排ガスを、鉄の酸化物又は合成ゼオライトと接触させた後、ハロゲンガスを除去することができるイオン交換樹脂で除去される。無機ハロゲン化ガスとしては、ClF3 、SiF4,SiCl4,BF3,BCl3,PF3,PCl3,Cl2,F2 等が上げられる。
請求項（抜粋）：
無機ハロゲン化ガスを含有する排ガスを、鉄の酸化物又は合成ゼオライトと接触させた後、ハロゲンガスを除去することができるイオン交換樹脂に接触させることを特徴とする排ガスの処理方法。
FI (2件)：
B01D 53/34 134 A ,  B01D 53/34 134 C
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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