事前に組立済みのプロセス配管の内部表面を現場においてコーティングする方法及びシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅原一郎
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-521496
公開番号（公開出願番号）：特表2008-506840
出願日： 2005年07月06日
公開日（公表日）： 2008年03月06日
要約：

加工物が陰極として機能するようにバイアス電圧(20及び47)を接続すると共に、加工物のそれぞれの開口部に陽極(22及び24)を接続することにより、加工物の内部表面のコーティングを実現している。真空源(32)を出口の開口部に接続した状態で、ソースガス(16及び18)を入口の開口部から導入する。加工物内の圧力を監視し(34)、この結果得られた圧力情報を、中空陰極効果を示す状態を維持するべく使用する。任意選択により、炭化水素混合物を導入すると共に加工物に対して負のバイアスを印加することによって、アルゴンガス(16)を使用して加工物から汚染物質をスパッタリングし、事前浄化(52)を提供することが可能である。又、アルゴンガスをコーティングプロセスにおいて導入し、コーティングを再スパッタリングすることにより、加工物の長さに沿った均一性を改善することも可能である。このコーティングは、イオン照射エネルギーの制御によって決定される特性を具備したDLC(Diamond-Like Carbon)材料であってよい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

導電性加工物の内部表面をコーティングする方法において、前記導電性加工物からの陽極の電気的な絶縁を維持しつつ、前記導電性加工物の開口部に前記陽極を装着する段階であって、前記開口部は、少なくとも1つの入口と少なくとも1つの出口を含んでいる、段階と、前記導電性加工物が陰極として機能するように、バイアスシステムを接続する段階と、真空源を前記導電性加工物のそれぞれの前記出口に結合する段階と、前記導電性加工物のそれぞれの前記入口にガス源を結合することにより、コーティング材料を含むガスを導入する段階と、を有する方法。

IPC (1件)：

C23C 16/50

FI (1件)：

C23C16/50

Fターム (8件)：

4K030AA09 , 4K030AA16 , 4K030BA28 , 4K030CA02 , 4K030CA15 , 4K030DA03 , 4K030FA01 , 4K030KA47

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5,026,466号
米国特許第4,407,712号

審査官引用 (5件)

蒸着装置、及び薄膜製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-027284 出願人：日本真空技術株式会社
特開昭63-026373
ダイヤモンド状炭素フィルムの大型で低圧力のプラズマイオン付着
公報種別：公表公報出願番号：特願平9-515142 出願人：エイチイー・ホールディングス・インコーポレーテッド・ドゥーイング・ビジネス・アズ・ヒューズ・エレクトロニクス

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