特許

J-GLOBAL ID：200903006641812718

光フィルターの製造方法及び光フィルター

発明者： 吉川 博樹
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-074674
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264536
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】コンパクトな構造を有し、且つ、任意の波長域で良好な光学特性、すなわち大きな偏波選択性、小さな挿入損失、及び耐候性を有する、低コストの光フィルターの製造方法及び光フィルターを提供する。【解決手段】 光学部材上に直接成膜した光フィルターの製造方法において、前記光学部材上に透光性の酸化物及び第1の金属を同時に成膜する工程と、該成膜の第1の金属成分の全部又は一部を除去して前記光学部材上に凹凸を有する縞状の膜を形成する工程と、該縞状の膜上に第2の金属を成膜する工程と、該成膜表面の第2の金属膜の一部を除去して前記縞状の膜の凹部に第2の金属が残存するようにする工程とを有することを特徴とする光フィルターの製造方法、及びこの方法で製造された光フィルター。

請求項（抜粋）：

光学部材上に直接成膜した光フィルターの製造方法において、前記光学部材上に透光性の酸化物及び第1の金属を同時に成膜する工程と、該成膜の第1の金属成分の全部又は一部を除去して前記光学部材上に凹凸を有する縞状の膜を形成する工程と、該縞状の膜上に第2の金属を成膜する工程と、該成膜表面の第2の金属膜の一部を除去して前記縞状の膜の凹部に第2の金属が残存するようにする工程とを有することを特徴とする光フィルターの製造方法。

IPC (4件)：

G02B 5/30 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/30 ,  G02B 5/18

FI (4件)：

G02B 5/30 ,  C23C 14/06 P ,  C23C 16/30 ,  G02B 5/18

Fターム (36件)：

2H049AA03 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA43 ,  2H049AA45 ,  2H049AA51 ,  2H049AA59 ,  2H049BA02 ,  2H049BA46 ,  2H049BB42 ,  2H049BB66 ,  2H049BC08 ,  2H049BC09 ,  2H049BC25 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029AA29 ,  4K029BA02 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA08 ,  4K029BA13 ,  4K029BA64 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029GA00 ,  4K030BA01 ,  4K030BA02 ,  4K030BA11 ,  4K030BA61 ,  4K030BB13 ,  4K030CA06 ,  4K030CA12 ,  4K030DA08 ,  4K030LA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 偏光子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-030755   出願人：株式会社トーキン
• 偏光子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-329199   出願人：株式会社リコー
• 偏光子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-024633   出願人：信越化学工業株式会社
• 特開平4-256904