特許
J-GLOBAL ID：200903006688886787
ホットプレート
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-269352
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097161
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：
【要約】【課題】 ワークのワーク吸着プレートとの接触面を均一に加熱する。【解決手段】 ワーク10を多孔質材のワーク載置プレート3上に載し、吸引口4bに接続された真空ポンプにより排気し、多孔質材料3の微細な空孔でワーク10を吸引して該ワーク10を吸着面3a上に均一に吸着固定する。ワーク10を吸着固定した状態で加熱プレート2をヒータ1により加熱し、ワーク10を均一に加熱する。ワーク吸着面3aの平面精度を高めることによって、ワーク10に歪みがつかず、ワーク10の平面精度を損うことなく吸着することができる。また、ワーク10の性質による吸着状態の変化には、真空ポンプの排気量を調整したり、多孔質材料の粒径を変更することによって対応することができる。
請求項（抜粋）：
多孔質材で形成されかつ表面の平面精度の良いワーク吸着プレートと、該ワーク吸着プレートが載置される凹部と該凹部に連通する吸気口を有するワーク吸着プレート載置台と、該ワーク吸着プレート載置台を加熱する加熱プレートとを有し、前記ワーク吸着プレートの凹部の上にワークを載置し、前記凹部内を前記吸気口を通して吸気して前記ワークを前記ワーク吸着プレートに吸着固定しながら前記加熱プレートを加熱するようにしたことを特徴とするホットプレート。
IPC (2件)：
H05B 3/68
, G02F 1/13 101
H05B 3/68
, G02F 1/13 101
