非金属介在物の検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-223553
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062357
出願日： 1996年08月26日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを自動的に分別し、非金属介在物の定量解析を正確に行うことが可能な非金属介在物の検査装置の提供。【解決手段】被検査体を撮像する撮像装置2と、撮像装置2の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別装置3と、その分別装置3の分別結果を出力する出力装置4とで構成される非金属介在物の検査装置であって、分別装置3が、撮像装置2により撮像された画像データから対象物の特徴量を算出する算出手段32cと、前記の算出した特徴量を、予め非金属介在物及び非金属介在物誤認要因の特徴量を入力層として学習したニューラルネットワークで判別することにより、非金属介在物であるか非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判定手段32dとを備えることを特徴とする非金属介在物の検査装置。

請求項（抜粋）：

被検査体を撮像する撮像装置と、その撮像装置の撮像結果に基づいて被検査体中の非金属介在物と非金属介在物誤認要因とを分別する分別装置と、その分別装置の分別結果を出力する出力装置とで構成される非金属介在物の検査装置であって、上記分別装置が、前記撮像装置により撮像された画像データから対象物の特徴量を算出する算出手段と、前記の算出した特徴量を、予め非金属介在物及び非金属介在物誤認要因の特徴量を入力層として学習したニューラルネットワークによって判別することにより対象物が非金属介在物であるか非金属介在物誤認要因であるかを判定する比較判定手段とを備えることを特徴とする非金属介在物の検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01N 33/20

FI (2件)：

G01N 21/88 Z , G01N 33/20 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

非金属介在物の検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-286746 出願人：住友金属工業株式会社
表面欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-186799 出願人：株式会社リコー
疵検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-233599 出願人：富士通株式会社, 富士フアコム制御株式会社, 川崎製鉄株式会社

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