特許
J-GLOBAL ID：200903006958096759
欠陥マーキング装置及び欠陥マーキング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-294637
公開番号（公開出願番号）：特開2006-108473
出願日： 2004年10月07日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：
【課題】 汎用のレーザマーカを改良した非接触式マーキングを行い、工数を削減するとともに、欠陥の直近に高精度にマーキングを行うことができ、歩留まりを大幅に向上させることができる欠陥マーキング装置を提供する。【解決手段】 欠陥マーキング装置は、長尺フィルム状製品1に存在する欠陥をブロック毎に検出する検査機21と、検査機21によって検出された欠陥に対応してマークを印字するレーザマーカ装置22と、このレーザマーカ装置22を制御する制御部23とを備える。レーザマーカ装置22は、制御部23から送信された欠陥の位置を含む位置座標データを保持するバッファが設けられた複数のレーザマーカを有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
所定の方向へと連続的に搬送されている長尺フィルム状製品に存在する欠陥に対してマーキングを行う欠陥マーキング装置であって、
上記長尺フィルム状製品の搬送方向に一定長に区分けされたブロック毎に、当該長尺フィルム状製品に存在する欠陥を検出する検査手段と、
上記検査手段によって上記ブロック毎に検出された欠陥の位置を含む位置座標データを生成する制御手段と、
上記検査手段から所定距離だけ上記長尺フィルム状製品の搬送方向に離隔された位置に設けられ、上記制御手段から送信された上記位置座標データを印字データに変換し、上記検査手段によって検出された欠陥に対応してレーザを照射することによってマークを印字するレーザマーカ手段とを備え、
上記レーザマーカ手段は、上記長尺フィルム状製品の搬送方向に直交する幅方向に並設された互いに独立に作動する複数のレーザマーカを有し、
上記レーザマーカ手段を構成する複数のレーザマーカは、それぞれ、上記制御手段から送信された上記位置座標データを保持するバッファを設けていること
を特徴とする欠陥マーキング装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/60 311W
, H01L21/60 321Y
, G01N21/892 A
2G051AA41
, 2G051AB02
, 2G051DA06
, 2G051DA15
, 5F044MM03
, 5F044MM41
