感光性樹脂組成物、物品、及びネガ型パターン形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：岸本達人 , 山下昭彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-090497
公開番号（公開出願番号）：特開2007-262276
出願日： 2006年03月29日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】高感度で、高分子前駆体の種類を問わず大きな溶解性コントラストを得られ、結果的に、十分なプロセスマージンを保ちつつ、形状が良好なパターンを得ることができる感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】下記式(1)で表わされるカルボン酸とアミンとの塩、及び高分子前駆体を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。(式中、X1、X2は独立に酸素原子もしくは硫黄原子を示す。R1〜R9は独立に水素原子、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、メルカプト基、ニトロ基、シリル基、シラノール基、もしくは1価の有機基を示す。R10、R11、R12は水素原子、もしくは1価の有機基を示す。但し、R10、R11、R12の少なくとも1つは、1価の有機基である。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表わされるカルボン酸とアミンとの塩、及び高分子前駆体を含有する、感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

C08G 73/10 , G03F 7/004 , G03F 7/037 , G02B 5/20 , H01L 21/027 , C08G 73/22

FI (6件)：

C08G73/10 , G03F7/004 503B , G03F7/037 501 , G02B5/20 101 , H01L21/30 502R , C08G73/22

Fターム (79件)：

2H025AA02 , 2H025AA10 , 2H025AB13 , 2H025AB14 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BE00 , 2H025CB25 , 2H025CC02 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043PC06 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043QB34 , 4J043RA06 , 4J043RA35 , 4J043RA52 , 4J043SA06 , 4J043SB01 , 4J043SB03 , 4J043TA14 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB03 , 4J043UA022 , 4J043UA032 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA141 , 4J043UA142 , 4J043UA151 , 4J043UA152 , 4J043UA222 , 4J043UA262 , 4J043UA361 , 4J043UA362 , 4J043UA762 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB131 , 4J043UB132 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB171 , 4J043UB172 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB402 , 4J043VA021 , 4J043YA07 , 4J043YA08 , 4J043ZA12 , 4J043ZA46 , 4J043ZB03 , 4J043ZB11 , 4J043ZB22 , 4J043ZB25

引用特許：

出願人引用 (7件)

特公昭49-17374号公報
特公昭55-30207号公報
特開昭54-145794号公報

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審査官引用 (1件)

光重合性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-082914 出願人：キヤノン株式会社, サンノプコ株式会社

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