特許
J-GLOBAL ID：200903007095975003
アクチュエータ及びインクジェット式記録ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-294050
公開番号（公開出願番号）：特開平11-129468
出願日： 1997年10月27日
公開日（公表日）： 1999年05月18日
要約：
【要約】【課題】 キャビティの端部での圧電体層の破壊を防止し、また、伸張部をできるだけ小さくし、且つ位置ずれの許容範囲が大きいアクチュエータおよびインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 キャビティ12の一方の壁面を構成し且つ少なくとも上面に下電極60を有する振動板と、該振動板の表面に形成された圧電体層70及び該圧電体層70の表面に形成された上電極80からなる圧電体能動部320とからなる圧電振動子を備えたアクチュエータにおいて、前記圧電体能動部320の中央部に当該圧電体能動部320の圧電歪みを許容する伸張部330を形成するようにしたので、圧電体能動部320に電圧を印加すると、当該圧電体能動部320はキャビティ12に対して突出するように変位する。
請求項（抜粋）：
キャビティの一方の壁面を構成し且つ少なくとも上面に下電極を有する振動板と、該振動板の表面に形成された圧電体層及び該圧電体層の表面に形成された上電極からなる圧電体能動部とからなる圧電振動子を備えたアクチュエータにおいて、前記圧電体能動部の中央部に当該圧電体能動部の圧電歪みを許容する伸張部が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/09
B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 C
