特許
J-GLOBAL ID：200903007130886892
試料評価方法及び試料評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-005110
公開番号（公開出願番号）：特開2005-201640
出願日： 2004年01月13日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 試料に含有された元素についての当該元素の面内での均質性の評価を高い信頼性でもって行うことのできる試料評価方法及び試料評価装置を提供する。【解決手段】 試料7の複数箇所に電子線6もしくはX線を照射し、試料7に含有された元素に対応して発生する特性X線8を検出し、これにより当該複数箇所における特性X線強度を求めて、当該元素についての試料7の面内での均質性を評価する際に、求められた複数の特性X線強度のばらつきに関する変動係数εと標準偏差σとをもとに試料7の均質性の評価を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料の複数箇所に電子線もしくはX線を照射し、試料に含有された元素に対応して発生する特性X線を検出し、これにより当該複数箇所における特性X線強度を求めて、当該元素についての試料の面内での均質性を評価する試料評価方法であって、求められた複数の特性X線強度のばらつきに関する変動係数εと標準偏差σとをもとに試料の均質性の評価を行うことを特徴とする試料評価方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2G001AA03
, 2G001BA05
, 2G001CA01
, 2G001EA01
, 2G001FA02
, 2G001FA06
, 2G001GA06
, 2G001JA07
, 2G001JA12
, 2G001JA13
, 2G001KA01
, 2G001KA20
, 2G001LA02
, 2G001NA10
, 2G001NA11
, 2G001NA17
, 2G001PA07
, 2G001PA11
出願人引用 (1件)
審査官引用 (10件)
-
特開平1-147352
-
特開平1-276053
-
分散性評価方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-331405
出願人：株式会社村田製作所
全件表示
前のページに戻る
