特許
J-GLOBAL ID：200903007195757054

レーザ光学システムおよびレーザ加工方法

発明者：
岡田 健

岡田 健 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-308157
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114400
出願日： 2001年10月04日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 炭酸ガスレーザビームなどレーザはビームパワーがガウシアン分布をしている。ガウシアン分布その他の不均一パワー分布をもつレーザビームをトップハット型の均一パワー分布ビームに変換する装置を与えること。【解決手段】 回折型光学素子と集光レンズを用いて一定範囲でパワーを等分配した回折点を形成しデフォーカスすることによって、その範囲でトップハット型の光量分布を得る。ある範囲内の格子点でのビームパワーが同一になるように回折型光学素子(DOE)の位相パターンを決めておき、不均一分布をもつレーザビームを回折光学素子に当てて、その透過光を集光レンズによって集光する。集光レンズから出たビームは、焦点面から前後に僅かに対象面をずらせるデフォーカスによって対象面で一様の光量分布になる。
請求項（抜粋）：
レーザビームを一定範囲にある複数のビームに分岐する機能をもつ回折型光学素子と、回折型光学素子に続いて設けられる集光レンズとを含み、集光レンズの焦点から外れたデフォーカス面に像面を設置し、回折型光学素子によって分岐された各ビームがデフォーカス面で合体して所望の強度分布が得られるようにしたことを特徴とするレーザ光学システム。
IPC (4件)：
G02B 27/09 ,  B23K 26/06 ,  G02B 5/18 ,  H01S 3/00
FI (4件)：
B23K 26/06 E ,  G02B 5/18 ,  H01S 3/00 B ,  G02B 27/00 E
Fターム (11件)：
2H049AA02 ,  2H049AA33 ,  2H049AA37 ,  2H049AA50 ,  2H049AA51 ,  2H049AA64 ,  4E068CA01 ,  4E068CD05 ,  4E068CD08 ,  5F072JJ20 ,  5F072YY06
引用特許：
審査官引用 (4件)
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