特許
J-GLOBAL ID：200903043932815962
レーザ加工装置およびレーザ加工方法およびこの加工方法による光導波路の製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大岩 増雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-066314
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255490
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：
【要約】【課題】 光源の光を孔子状に分けるとき、従来は露光マスクを用いていたので谷部の光は吸収され、これを山部に利用するということが出来ず、照射強度が光源の光強度以上には上がらずレーザ加工の加工効率が上がらなかった。【解決手段】 フーリェ変換型位相ホログラム3を介して光源の光2を所定の角度に分岐する複数の光束に変換することによって、谷部の光を山部に利用出来るので光強度を高めることができる。また、光源とフーリェ変換型位相ホログラム3との間にシリンドリカルレンズ組6を挿入し、このレンズ間の距離を調整して被加工光ファイバ1の軸方向の焦点距離を調節する。これによってフーリェ変換型位相ホログラム3に入射する光強度を調節しグレーティングの孔子状の光強度分布の形を任意に調節する。
請求項（抜粋）：
光源と、この光源の光が入射され、この入射光に直交する第1の方向には集光機能を持たず、前記入射光に直交し、かつ、前記第1の方向に直交する第2の方向には焦点距離fの集光機能を有する光学素子と、前記光学素子からの光をフーリェ変換型位相ホログラムを介して格子状の光強度分布を持つ照射光を生成する光学系とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (5件)：
G02B 27/09
, B23K 26/06
, G02B 5/32
, G02B 6/10
, G02B 6/16
B23K 26/06 E
, G02B 5/32
, G02B 6/10 C
, G02B 6/16
, G02B 27/00 E
2H049CA01
, 2H049CA05
, 2H049CA11
, 2H049CA17
, 2H050AC82
, 2H050AC84
, 2H050AD00
, 4E068CB08
, 4E068CD05
