特許
J-GLOBAL ID：200903007212883794
マイクロリレー、その製造方法およびその制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-313444
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154456
出願日： 1996年11月25日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 駆動電圧が低く、かつ、耐圧が高い静電型マイクロリレーを提供することにある。【解決手段】 ベース10の傾斜面12から可動接触片30までの対向距離が、可動接触片30の基部から自由端部にかけて増大する。
請求項（抜粋）：
ベースの上面に片持支持した可動接触片の自由端部下面に可動接点を設ける一方、前記ベースの上面に、前記可動接点に接離可能に対向する一対の固定接点と、前記可動接触片に接離可能に対向する駆動電極とを設けたマイクロリレーにおいて、前記ベースの上面から前記可動接触片までの対向距離が、可動接触片の基部から自由端部にかけて増大することを特徴とするマイクロリレー。
引用特許：
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