特許
J-GLOBAL ID：200903007270678556
近接場用光プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-024801
公開番号（公開出願番号）：特開平11-223638
出願日： 1998年02月05日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：
【要約】【課題】 近接場を生成及び/または散乱させる微小開口を有する近接場用光プローブにおいて、生成及び/または散乱される近接場の強度を増大させ、且つ光メモリ用ヘッドとしての使用に適したアレイ化の容易な近接場用光プローブを提供する。【解決手段】 逆錐状の穴がその頂部を前記微小開口とするように貫通して形成された平面基板上に、微小なレンズを有した平板レンズを配置し、更にその上に前記平板レンズに光を入射させる光源を配置させる。前記平板レンズのレンズの焦点が前記微小開口に位置するように配置されているため、光源からもたらされる光は効率よく微小開口に集光できる。また、上記構成はシリコンプロセスを用いて、アレイ化及び大量生産化が可能であり、光メモリ用ヘッドとしての使用に適する。
請求項（抜粋）：
近接場を生成及び/または散乱させる微小開口を有する近接場用光プローブであって、逆錐状の穴がその頂部を前記微小開口とするように貫通して形成された平面基板と、微小なレンズを有した平板レンズと、前記平板レンズに光を入射させる光源と、を含み、前記平面基板において、前記微小開口が形成された面と反対側の面上に、前記平板レンズをそのレンズの焦点が前記微小開口に位置するように配置し、前記平板レンズの面上に前記光源を配置したことを特徴とする近接場用光プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
