特許
J-GLOBAL ID:200903007430705946
光学装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 幸男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-293600
公開番号(公開出願番号):特開2002-107580
出願日: 2000年09月27日
公開日(公表日): 2002年04月10日
要約:
【要約】【課題】 光学的結合が比較的容易かつ高精度で行い得る光学装置を提供する。【解決手段】 レンズ素子13が形成された光学基板11と、前記レンズ素子に光学的に結合される光学素子15、16、23が設けられ、光学基板11が実装される支持基板12とを含む光学装置10。支持基板12は、前記光学素子が支持され部分的にエッチング処理を受ける表層12cと、該表層下にあって該表層のためのエッチング媒体に関してエッチングストッパとして機能するエッチングストッパ層12bとを備える積層構造を有する。前記エッチング処理により前記表層から露出した前記エッチングストッパ層上に前記光学基板が載置されている。
請求項(抜粋):
光学レンズ素子が形成された光学基板と、前記レンズ素子に光学的に結合される光学素子が設けられ、前記光学基板が実装される支持基板とを含む光学装置であって、前記支持基板は、前記光学素子が支持され部分的にエッチング処理を受ける表層と、該表層下にあって該表層のためのエッチング媒体に関してエッチングストッパとして機能するエッチングストッパ層とを備える積層構造を有し、前記エッチング処理により前記表層から露出した前記エッチングストッパ層上に前記光学基板が載置されていることを特徴とする光学装置。
IPC (4件):
G02B 6/42
, G02B 3/08
, G02B 5/32
, G02B 7/00
FI (4件):
G02B 6/42
, G02B 3/08
, G02B 5/32
, G02B 7/00 F
Fターム (14件):
2H037AA01
, 2H037BA03
, 2H037BA12
, 2H037CA33
, 2H037CA38
, 2H037DA11
, 2H037DA12
, 2H043AE18
, 2H043AE23
, 2H049CA05
, 2H049CA09
, 2H049CA15
, 2H049CA17
, 2H049CA23
引用特許: