特許
J-GLOBAL ID:200903007476008310
露光装置および露光方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
松岡 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-017854
公開番号(公開出願番号):特開2003-215809
出願日: 2002年01月28日
公開日(公表日): 2003年07月30日
要約:
【要約】【課題】 複数の発光素子を光源として用いながら、実質的にムラなく基板を露光できる露光装置を提供する。【解決手段】 本発明は、複数の発光素子からの光を露光対象面上で走査させることにより露光対象面を露光する露光装置において、発光素子へ供給する電力を、各々が2以上の発光素子を含む複数の発光素子群毎に制御することで発光素子群毎に発光素子の発光量を調整する発光量調整手段と、発光素子の各々の発光量を検出する発光量検出手段とを備える露光装置を提供する。この露光装置において、発光量調整手段は、発光量検出手段の検出結果に基づいて、発光素子の中から、発光量が所定範囲から逸脱している発光不良素子を特定し、露光対象面を実質的に均一に露光するように、発光不良素子が属する発光素子群への供給電力を調整する。
請求項(抜粋):
複数の発光素子からの光を露光対象面上で走査させることにより前記露光対象面を露光する露光装置において、各々が2以上の前記発光素子を含む発光素子群毎に前記発光素子の発光量を調整する発光量調整手段と、前記発光素子の各々の発光量を検出する発光量検出手段とを備え、前記発光量調整手段は、前記発光量検出手段の検出結果に基づいて、前記発光素子の中から、前記発光量が所定範囲から逸脱している発光不良素子を特定し、前記露光対象面が実質的に均一に露光されるように、前記発光不良素子が属する前記発光素子群の発光量を調整することを特徴とする露光装置。
IPC (4件):
G03F 7/20 501
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
, H01L 33/00
FI (5件):
G03F 7/20 501
, G03F 7/20 521
, H01L 33/00 L
, H01L 21/30 516 D
, H01L 21/30 518
Fターム (15件):
2H097CA12
, 2H097GA45
, 2H097GA50
, 2H097LA09
, 2H097LA10
, 5F041AA05
, 5F041BB06
, 5F041DC07
, 5F041DC23
, 5F041EE11
, 5F041FF16
, 5F046BA05
, 5F046CA03
, 5F046DA02
, 5F046DB01
引用特許:
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