特許
J-GLOBAL ID：200903007567277925
板状ワークの移載装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山田 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-207379
公開番号（公開出願番号）：特開2007-022758
出願日： 2005年07月15日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】液晶ガラスや薄型大型基板などの板状ワークを所望とする状態で保持し、受け取りや引き渡しを好適に実施する板状ワークの移載装置を提供する。【解決手段】移載装置において、フォークにおける各櫛歯部14の上面には複数の多孔質ユニット30が設けられている。多孔質ユニット30は、ワークに対向するエア噴出面51aを有し微細孔を通じて気体を噴出させる多孔質体51を備えている。また特に、多孔質ユニット30は、櫛歯部14に固定された支持体31と、その支持体31に揺動可能に支持された揺動本体41とを備えており、揺動本体41に多孔質体51が組み付けられている。多孔質ユニット30によりワークが浮上状態で保持される場合、当該多孔質ユニット30はワークの傾きに応じて揺動する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
複数の櫛歯部を有するフォーク部材を備え、該フォーク部材により板状ワークの受け取り又は引き渡しを行う板状ワークの移載装置において、
前記フォーク部材における各櫛歯部の上面に、前記板状ワークに対向する対向面を有し微細孔を通じて気体を噴出させる又は吸引作用を生じさせる多孔質体を備えた複数の多孔質ユニットを設け、該多孔質ユニットに、対向する板状ワークの傾きに応じて揺動する揺動機構を付加したことを特徴とする板状ワークの移載装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
B65G49/06 Z
, B65G49/06 A
, H01L21/68 A
, H01L21/68 B
5F031CA05
, 5F031DA17
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA13
, 5F031GA06
, 5F031GA07
, 5F031GA08
, 5F031GA32
, 5F031GA35
, 5F031GA38
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031KA03
, 5F031KA20
, 5F031LA01
, 5F031PA13
, 5F031PA18
, 5F031PA20
