薄厚ウェーハ用カセット及び吸着ハンド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和田昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-276063
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086667
出願日： 2001年09月12日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】薄厚ウェーハの収納、取り出しが確実に行え、取り出し時に割れや欠けを生じさせることのない薄厚ウェーハ用カセットを提供する。【解決手段】薄厚ウェーハaを収納するカセット21の両側壁24の対向する内面間に、両側に平行部分30を残して前縁から後方に吸着ハンド9の通過用切り欠き部28が形成された支持板25を上下に所定の間隔で多段に設け、各支持板25上の後端部側で両側の位置に上部が小径となるストッパー26を設け、上記カセット21の両側壁24の内面で上下支持板25間の位置に、端部の下面が端部上りに傾斜するスペーサ27が、下位支持板25との対向面間に薄厚ウェーハaの挿入間隔を形成した状態で設けられている。

請求項（抜粋）：

薄厚ウェーハを収納するカセットの両側壁の対向する内面間に、両側に平行部分を残して前縁から後方に吸着ハンドの通過用切り欠き部が形成された支持板を上下に所定の間隔で多段に設け、各支持板上の後端部側で両側の位置に上部が小径となるストッパーを設け、上記カセットの両側壁の内面で上下支持板間の位置に、端部の下面が端部上がりに傾斜するスペーサを下位支持板との対向面間に薄厚ウェーハの挿入間隔を形成した状態で設けた薄厚ウェーハ用カセット。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B25J 15/06 , B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 V , H01L 21/68 B , B25J 15/06 M , B65G 49/07 G

Fターム (24件)：

3C007AS03 , 3C007AS24 , 3C007DS03 , 3C007ES17 , 3C007FS01 , 3C007FT07 , 3C007FT08 , 3C007FT11 , 3C007NS13 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031EA19 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031GA08 , 5F031GA24 , 5F031GA26 , 5F031GA32 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031PA13 , 5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (9件)

ウェハキャリア
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-040570 出願人：三菱電機株式会社
ウェーハ収容カセット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-254090 出願人：株式会社ディスコ
特開平4-035827

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