特許
J-GLOBAL ID:200903007590091553

硫化水素系ガスのセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 塩入 明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-228929
公開番号(公開出願番号):特開平8-068775
出願日: 1994年08月30日
公開日(公表日): 1996年03月12日
要約:
【要約】【目的】 1ppm程度のH2Sを高速で検出すること。【構成】 Y2O3で安定化したZrO2チューブの内面にPt参照極を形成し、外面にWO3で被覆したPt検出極を形成する。検出極では O2+4e-→2O2- と H2S+3O2-→H2O+SO2+6e- の2つの反応が生じ、これらの反応で定まる混成電位が両極間に発生する。混成電位はH2S濃度の10倍の変化に対して約40mV減少し、1ppm未満のH2Sを検出でき、90%応答時間は2〜3分程度と短い。
請求項(抜粋):
酸素イオン導電性固体電解質の表面に各々貴金属系の検出極と参照極とを設け、検出極表面を金属酸化物半導体層で被覆した硫化水素系ガスのセンサ。
引用特許:
出願人引用 (4件)
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