特許
J-GLOBAL ID：200903007591092073

投影露光装置

発明者：
マルティン・アントニ

マルティン・アントニ について


出願人/特許権者：
カール・ツアイス・スティフツング

カール・ツアイス・スティフツング について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-259133
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093700
出願日： 2001年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：
【要約】【課題】 照明角度を調整できる特にマイクロリソグラフィ用の投影露光装置を提供する。【解決手段】 投影光を放射する光源と、光源と対物面の間の光路に配置された照明光学装置を用いる。投影光を導くために、さらに対物面と投影面の間の光路に配置された投影光学装置が用いられる。光源と対物面の間の瞳面の領域に位置するフィルタ平面にフィルタ(7)が配置されている。このフィルタは可動式フィルタ・エレメント(22’)を備え、これは少なくとも一部領域(24)で、投影光に対してゼロより大きく100%より小さい透過率を示す。この可動式フィルタ・エレメント(22’)は、フィルタ平面で運動可能である。すなわち光軸(14)対し垂直方向における投影光の光度分布が、光路上のフィルタ(7)の後ろでフィルタ・エレメント(22’)の移動で変化する。この種のフィルタ(7)によって、照明角度分布を目標値に適合させることができる。
請求項（抜粋）：
投影光を放射する光源と、光源と対物面の間の光路に配置された照明光学装置と、対物面と投影面の間の光路に配置された投影光学装置とにより、対物面に配置された対象物の像を投影面に生じさせ、その際、光源と対物面の間の瞳面の領域に位置するフィルタ平面に可動式のフィルタ・エレメントを持つフィルタが配置され、このフィルタ・エレメントは、フィルタ平面で移動可能であり、かつフィルタ平面における光軸に対する垂直方向での投影光の光度分布が、光路上のフィルタの後ろでフィルタ・エレメントの移動によって変化する透過率分布を持つ、特にマイクロリソグラフィ用の投影露光装置であって、フィルタ・エレメント(22、22’、122、222、322、422)が少なくとも一部領域で(24、124、224)、投影光(5)に対し0より大きく100%より小さい透過率を示すことを特徴とする投影露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G02B 5/00 ,  G02B 5/22 ,  G03F 7/20 521
FI (4件)：
G02B 5/00 A ,  G02B 5/22 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (11件)：
2H042AA01 ,  2H042AA11 ,  2H042AA13 ,  2H042AA25 ,  2H048CA01 ,  2H048CA13 ,  2H048CA18 ,  2H048CA22 ,  2H048CA24 ,  5F046CB08 ,  5F046CB25
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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