特許
J-GLOBAL ID：200903007626470556
ワイヤソー用切削油
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細田 芳徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-126428
公開番号（公開出願番号）：特開平11-323376
出願日： 1998年05月08日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】取扱いが簡便なワイヤソー用切削油及びワイヤソー用切削油組成物、並びに排水処理が簡便なウエハーの洗浄方法を提供すること。【解決手段】水で20倍に希釈したときに0〜100°Cの曇点を有する非イオン性界面活性剤を60重量%以上、水4重量%以下を含有したワイヤソー用切削油、該ワイヤソー用切削油と砥粒とを含有したワイヤソー用切削油組成物、該ワイヤソー用切削油組成物を用いてワイヤソーでインゴットを切断して得られるウエハーを水で洗浄し、生じた排水を該排水中に含有される非イオン性界面活性剤の曇点以上に加熱して油相と水相に分離し、該非イオン性界面活性剤を含有する油相を排水より分離するウエハーの洗浄方法。
請求項（抜粋）：
水で20倍に希釈したときに0〜100°Cの曇点を有する非イオン性界面活性剤を60重量%以上、水4重量%以下を含有してなるワイヤソー用切削油。
IPC (6件)：
C10M173/02
, C10M129/18
, C10M175/04
, C11D 1/722
, C10N 20:00
, C10N 40:22
C10M173/02
, C10M129/18
, C10M175/04
, C11D 1/722
