特許

J-GLOBAL ID：200903007635342374

感光性組成物およびこれを用いたパターン形成方法

発明者： 浅川 鋼児 ,  後河内 透 ,  内藤 卓哉 ,  信田 直美 ,  中瀬 真
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-281802
公開番号（公開出願番号）：特開平8-146607
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 極短波長光に対して、高感度、高解像性を有し、かつ、パターン形成のプロセスを通じて高い安定性を有する感光性組成物を提供する。【構成】 アルカリ可溶性樹脂、酸により溶解性が変化する化合物、および、化学放射線の照射により酸を発生する化合物であって、下記化1に示す式(1)〜(3)で表わされる化合物からなる群から選択される少なくとも1種の化合物を含有する感光性組成物である。【化1】

請求項（抜粋）：

(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)酸により溶解性が変化する化合物、および(c)化学放射線の照射によって酸を発生する化合物であって、下記化1に示す一般式(1)、(2)、および(3)で表わされる化合物からなる群から選択された少なくとも一種の化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(上記一般式中、Aは、少なくとも5つの共役二重結合を有する多環芳香環であり、Zは、塩素原子、臭素原子、またはヨウ素原子である。R1 は、水素原子;炭素数が6以下の炭化水素基;または、ハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選ばれた少なくとも1種によって置換された炭化水素基を示し、Bは、置換されたまたは未置換の、少なくとも5つの共役二重結合を有する多環芳香環、シクロアルカン類、および鎖状アルカンである。また、Xは、CF3SO3 、SbF6 、BF4 、またはPF6 である。R2 、およびR3 は、各々同一であっても異なっていてもよく、水素原子;ハロゲン原子;ニトロ基;シアノ基;炭素原子数が6以下の炭化水素基;ハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選択された少なくとも1種によって置換された炭化水素を示す。)

IPC (6件)：

G03F 7/039 501 ,  C08F 2/50 MDN ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027 ,  C08L101/00 LTB

FI (2件)：

H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 568

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ポジ型感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-299093   出願人：富士写真フイルム株式会社
• ポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-314527   出願人：日立化成工業株式会社
• 感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-188327   出願人：株式会社東芝
• ポジ型化学増幅レジスト組成物及びこれに使用する化合物の製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-262790   出願人：富士写真フイルム株式会社