特許

J-GLOBAL ID：200903007647489575

熱的な負荷の少ない照明系

発明者： ヴォルフガング・ジンガー ,  ヴィルヘルム・ウルリッヒ ,  マルティン・アントニ
出願人/特許権者： カール ツァイス シュティフトゥング トレイディング アズ カール ツァイス
代理人 (1件)： 渡邊 隆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-329854
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198309
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 グリッド素子を備える第2の反射鏡または第2のレンズ上への熱的な負荷を低減することのできる照明系を提供する。【解決手段】 光源100を備え、この光源100により照明される、第1のグリッド素子1を有する第1の光学素子102を備えていて、上記光源から出た光束がこの第1のグリッド素子1により、それぞれが焦点を持つ集束する光束に分散されるように設けられ、かつ、第2のグリッド素子3を持つ第2の光学素子104を備えていて、上記第1のグリッド素子1により作られた各光束が、それぞれ一つの上記第2のグリッド素子3割り当てられるよう設けられている193nm以下の波長、特にEUVリソグラフィーのための照明系において、第2のグリッド素子3は、第1のグリッド素子1が作る光束の焦点からずれた場所に配置されている。

請求項（抜粋）：

光源(100)を備え、前記光源(100)により照明される、第1のグリッド素子(1)を有する第1の光学素子(102)を備えていて、前記光源から出た光束が前記第1のグリッド素子1により、それぞれが焦点を持つ集束する光束に分散されるように設けられ、かつ、第2のグリッド素子(3)を持つ第2の光学素子(104)を備えていて、前記第1のグリッド素子(1)により作られた各光束が、それぞれ一つの前記第2のグリッド素子(3)割り当てられるよう設けられている193nm以下の波長、特にEUVリソグラフィーのための照明系において、前記第2のグリッド素子(3)は、第1のグリッド素子(1)が作る光束の焦点からずれた場所に配置されていることを特徴とする照明系。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 17/00 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G02B 17/00 Z ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (13件)：

2H052BA03 ,  2H052BA07 ,  2H052BA12 ,  2H087KA21 ,  2H087KA29 ,  2H087TA02 ,  5F046BA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB02 ,  5F046CB12 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F046DA26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 照明光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-038799   出願人：株式会社ニコン
• 照明装置、該照明装置を備えた露光装置および該露光装置を用いて半導体デバイスを製造する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-263673   出願人：株式会社ニコン
• 反射縮小投影光学系、該光学系を備えた投影露光装置および該装置を用いた露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-267706   出願人：株式会社ニコン
• 反射鏡の製造方法又は反射型照明装置又は半導体露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-267313   出願人：株式会社ニコン