振動ジャイロ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-004862
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292033
出願日： 1996年01月16日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【課題】設計の自由度に富み、振動子を強固に支持固定できる振動ジャイロを提供する。【解決手段】振動ジャイロ1を構成する振動子6は、厚み方向に分極された第一、第二のブロック2、3を、スペーサ4、4を挟み込んで接合し、中空部5を設けてなる。また、第一のブロック2には、一対の導体7、7からなる対向電極8が形成される。そして、発振回路12からの駆動信号によって、第一、第二のブロック2、3が屈曲振動する。さらに、第一、第二のブロック2、3の長手方向に方向に平行な回転軸18を中心として振動ジャイロ1が回転すると、コリオリが生じ、対向電極8を構成する導体7、7から互いに異なる信号が出力される。この出力信号の差が差動増幅回路15から出力され、それをもとに回転角速度が検知される。

請求項（抜粋）：

振動子と、該振動子に駆動信号を印加する駆動手段と、前記振動子に発生する信号を検出する検出手段とを備えてなる振動ジャイロにおいて、前記振動子を、圧電体を厚み方向に分極してなる第一のブロックおよび該第一のブロックとは別体の第二のブロックの間に、中空部を設けるようにスペーサを介在させて構成するとともに、前記第一のブロックに対向電極を備えたことを特徴とする振動ジャイロ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平3-122518
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-142764 出願人：キヤノン株式会社
角速度センサとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-310531 出願人：キヤノン株式会社

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審査官引用 (6件)

特開平3-122518
特開平3-122518
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-142764 出願人：キヤノン株式会社

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