特許
J-GLOBAL ID：200903007805529792

駆動装置及び駆動補助装置

発明者：
松岡 孝明

松岡 孝明 について

, 
浅川 輝雄

浅川 輝雄 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096148
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294613
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、減圧環境内の搬送系を構成する可動部を高精度に移動及び位置決めすることを可能にする駆動装置を提供することを目的とする。【解決手段】 減圧環境下にある閉空間に少なくとも可動部と気体軸受けを配置し、可動部を駆動する駆動部とを有する駆動装置を設けた。気体軸受けは、可動部が閉空間の内面に対して浮上するように気体を噴出することができる。
請求項（抜粋）：
減圧環境下にある空間に配置された可動部と、当該可動部に接続されて当該可動部を固定部に対して浮上させるように気体を噴出することができる気体軸受けと、前記可動部を駆動する駆動部とを有する駆動装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B25J 9/02 ,  B65G 49/07
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B25J 9/02 A ,  B65G 49/07 C
Fターム (13件)：
3F060AA08 ,  3F060DA08 ,  3F060HA15 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA43 ,  5F031GA44 ,  5F031GA62 ,  5F031LA02 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05
引用特許：
審査官引用 (10件)
  • 特開昭62-229852
  • 特開昭62-229852
  • 搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-255892   出願人：セイコー精機株式会社
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