特許

J-GLOBAL ID：200903007833806092

エキシマレーザとその検査装置及びその検査方法

発明者： 若林 理 ,  鈴木 孝
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-013271
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201869
出願日： 1998年01月08日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 エキシマレーザの光品位を、短時間でしかも正確に検査するための検査装置を提供する。【解決手段】 エキシマレーザ16の光品位を検査するために、エキシマレーザ16の筐体17内に検査装置18を設置するための空間30及び検査装置18の位置決め手段49を設け、検査装置18を各検査項目を検査するための着脱自在な検査ユニット及びレーザ光3を各検査ユニットに導くためのビーム切り出しユニット44から構成し、これを前記空間30に挿入して検査を行なう。

請求項（抜粋）：

発振するレーザ光(3) の光品位が検査されるエキシマレーザ(16)において、前記エキシマレーザ(16)の筐体(17)内に、エキシマレーザ(16)の性能を検査する検査装置(18)、又はエキシマレーザ(16)のビームを前記検査装置(18)に導くためのビーム切り出しユニット(44)を挿入する空間(30)を設けたことを特徴とするエキシマレーザ(16)。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/225

FI (3件)：

G01M 11/00 T ,  H01S 3/00 G ,  H01S 3/223 E

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-315674   出願人：株式会社小松製作所
• パルスレーザ発生装置およびそれを用いた装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-357374   出願人：キヤノン株式会社
• レーザ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-090368   出願人：株式会社小松製作所