特許
J-GLOBAL ID：200903007860297388
AFM/STM形状測定のためのマイクロメカニカル・センサ
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂口 博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-147672
公開番号（公開出願番号）：特開平10-082794
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 十分な機械剛性を有し、正のフランク角を有する非常に深く狭い構造を測定するのに好適な、AFM/STM形状測定のためのマイクロメカニカル・センサを提供する。【解決手段】 マイクロメカニカル・センサはバー2を含み、その一端には、サンプリングされるテスト面との相互作用のためのティップ1が存在し、バーの他端には、バー2を固定するための固定ブロックが存在する。ティップ1は、皿形の先端部分1bを有する基本的に円錐形のシャンク1aを含む。
請求項（抜粋）：
一端において、サンプリングされるテスト面との相互作用のためのティップを支持し、他端において、固定ブロックに固定されたバーを含む、原子力顕微鏡検査(AFM)/走査トンネル顕微鏡(STM)形状測定のためのマイクロメカニカル・センサであって、上記ティップが、皿形の先端部分を有する基本的に円錐形のシャンクを含む、マイクロメカニカル・センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 7/30 Z
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (1件)
前のページに戻る
