特許
J-GLOBAL ID：200903007941564402

パターン検査装置の感度調整方法

発明者：
永村 美一

永村 美一 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-122312
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315284
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：
【要約】【課題】 デバイス等に形成されたパターンを複数の検査光を用いて検査するパターン検査装置において各検査光の光学系を効率よくかつ精度よく確認し、各光学系の感度の調整をする感度調整方法を提供する。【解決手段】 薄板に形成されたパターンを、複数の検出光1,2,3を用いて検査するパターン検査装置の感度を調整する感度調整方法であって、複数の領域A,B,Cに分かれ、それぞれの領域に共通して同じ基準パターン22a,22b,22cが設けられた感度調整用基板10を準備する工程と、感度調整用基板10をパターン検査装置に装着し、検査光を基準パターンあたりに1つずつ対応させ、基準パターン内を走査させる工程とを備える。
請求項（抜粋）：
デバイス製造時に形成されたパターンを、複数の検査光を用いて検査するパターン検査装置の感度を調整する感度調整方法であって、複数の領域に分かれ、前記複数の領域のそれぞれに、共通して同じ基準パターンが設けられた感度調整用基板を準備する工程と、前記感度調整用基板を前記パターン検査装置に装着し、前記検査光1つを前記基準パターン1つに対応させて前記複数の検査光を走査させる工程とを備える、パターン検査装置の感度調整方法。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/66
FI (4件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  G03F 1/08 S ,  H01L 21/66 J
Fターム (37件)：
2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065GG04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL12 ,  2F065MM04 ,  2F065PP13 ,  2F065RR07 ,  2F065RR08 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB11 ,  2G051BC05 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EB00 ,  2H095BD04 ,  2H095BD20 ,  2H095BD27 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DC03 ,  4M106DC04 ,  4M106DJ04
引用特許：
審査官引用 (5件)
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