特許
J-GLOBAL ID:200903007954933440
光導波回路部品とその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長門 侃二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-226407
公開番号(公開出願番号):特開2001-051137
出願日: 1999年08月10日
公開日(公表日): 2001年02月23日
要約:
【要約】【課題】 クラッド層自体の作製を不要とし、加工工程数を削減して安価で小型化が可能なうえ、コアパターンの3次元方向の位置が異なり、高集積化が可能な光導波回路部品とその製造方法を提供する。【解決手段】 基板2上に光導波路層3が形成された光導波回路部品1とその製造方法。光導波回路部品1は、光導波路層3に水素又は重水素を添加して形成される光誘起反応活性層に紫外線が照射され、光誘起反応活性層内に高屈折率を有する光導波路コア3bが形成されている。
請求項(抜粋):
基板上に光導波路層が形成された光導波回路部品において、前記光導波路層に水素又は重水素を添加して形成される光誘起反応活性層に紫外線が照射され、当該光誘起反応活性層内に高屈折率を有する光導波路コアが形成されていることを特徴とする光導波回路部品。
IPC (2件):
FI (2件):
G02B 6/12 N
, G02B 6/12 M
Fターム (4件):
2H047KA12
, 2H047KB04
, 2H047RA00
, 2H047TA01
引用特許:
審査官引用 (7件)
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光導波路及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-225034
出願人:住友電気工業株式会社
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特開昭58-171005
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特開昭58-171005
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薄膜導波路
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-140381
出願人:住友電気工業株式会社
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光導波路及びその作製方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-007533
出願人:科学技術振興事業団, 三浦清貴
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光導波路作製法および装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-148639
出願人:工業技術院長
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特開昭58-171005
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