特許
J-GLOBAL ID：200903007966524260
ウェーハ・ノッチ研磨機およびウェーハの配向ノッチ研磨方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-234925
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093755
出願日： 2001年08月02日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハのノッチを研磨する比較的単純な研磨機であって、経済的な方法でシリコン・ウェーハの配向ノッチを研磨でき、また独立ユニット、またはウェーハ研削および研磨機の1ステーションとして使用できるウェーハ・ノッチ研磨機を提供する。【解決手段】 このノッチ研磨機はノッチ(11)の両面、すなわち頂面および底面、を研磨するためにウェーハ(10)のノッチ(11)に順次に導かれることのできる複数の研磨テープ(12)を使用する一方、ウェーハ(10)はテープ(12)に対してXおよび(または)Y方向の横方向へ移動される。各テープ(12)は供給リール(66)から引き出され、ウェーハ・ノッチ(11)に挿入される寸法の取り付けブロック(41)へ送られる。各ブロック(41)は研磨作業を実施するために振動するように取り付けられる。また全てのブロック(41)はウェーハ(10)の頂面に対して角度を有して配置される位置と、ウェーハ(10)の底面に対して角度を有して配置される位置との間を枢動されるように共通位置に取り付けられる。
請求項（抜粋）：
周縁ノッチ(11)のあるウェーハ(10)を保持するチャック(16)と、ノッチ(11)内で前記チャック(16)に直角な軸線に沿って、また前記チャック(16)に直角な平面内で角度を有して研磨媒体(12,19)を移動させる研磨ユニット(18)とを含むウェーハ・ノッチの研磨機であって、前記軸線に直角な共通平面内の互いに直角な2方向に前記チャック(16)を移動させる手段(17)を有し、前記研磨媒体(12,19)が前記ノッチ(11)内に位置することを特徴とするウェーハ・ノッチの研磨機。
IPC (4件)：
H01L 21/304 621
, B24B 9/00 601
, B24B 21/00
, B24B 21/08
H01L 21/304 621 E
, B24B 9/00 601 H
, B24B 21/00 Z
, B24B 21/08
3C049AA02
, 3C049AA11
, 3C049AA12
, 3C049AA13
, 3C049AA16
, 3C049BC02
, 3C049CA01
, 3C049CB05
, 3C058AA05
, 3C058AA11
, 3C058AA12
, 3C058AA14
, 3C058AA16
, 3C058AA18
, 3C058CB03
, 3C058CB05
, 3C058DA17
