半導体角速度センサおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡戸昭佳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143310
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337342
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】駆動信号によるセンサ出力への漏れを排除して,0点ドリフトが生じないようにした高精度な半導体角速度センサを,その製造方法とともに提供すること。【解決手段】基板90から上方に離隔されY方向に揺動可能なフレーム2と,フレーム2とともにY方向に揺動可能であるとともにX方向にも変位可能な錘3とを設け,フレーム2には絶縁部29を形成して半導体部分21〜24に区画し,半導体部分22,23に櫛歯電極27を設けるとともに半導体部分21,24が錘3と導通するようにした。また,錘3には櫛歯電極31を設けた。フレーム2に振動駆動のみが加わっている状態では錘3とフレーム2とが,つまり櫛歯電極31と27とが一体的に振動するので容量検出への漏れ信号となることはなく,角速度が印加されるとコリオリ力により錘3がフレーム2に対してX方向に変位するので,静電容量の変化により角速度を検出することができる。

請求項（抜粋）：

基板と,前記基板から離隔して設けられるとともに前記基板に対して水平な一方向に揺動可能な第1可動体と,前記第1可動体とともに前記一方向に揺動可能であるとともに前記基板に対して水平な他方向に変位可能な第2可動体と,前記第1可動体および前記第2可動体を前記一方向に一体的に振動駆動する加振手段と,前記第1可動体の一部であるとともに前記第2可動体から絶縁されており,前記第2可動体の前記他方向の変位により前記第2可動体との間の間隔が変化する変位検出電極とを有し,前記加振手段により前記第1可動体および前記第2可動体を前記一方向に振動させているときにおける前記第2可動体の前記他方向への変位に基づく前記第2可動体と前記変位検出電極との間の静電容量の変化により角速度を検出することを特徴とする半導体角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

力学量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-274529 出願人：日本電装株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-056901 出願人：日本電装株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-048526 出願人：日本電装株式会社

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