角速度センサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊藤求馬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-132921
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304441
出願日： 1995年05月02日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】センサ機能の低下を来すことなく、高精度な角速度検出を行う。【構成】単一の半導体層3の複数領域を導電型pとなして、その基部31の両端より、角速度を受けて変位する振動子5A,5Bを左右一対延出させて音叉型振動子となす。基部31の中央には導電型nで逆バイアス状態とされた半導体層による電気絶縁層37を形成する。振動子5A,5Bに対して所定導電型の半導体基板1を対向させ、各振動子5A,5Bの先端321,331と半導体基板1との間にそれぞれ形成されるコンデンサの静電容量変化により角速度の大きさを検出する。

請求項（抜粋）：

単一の半導体層の複数領域を所定の導電型となして、これら領域に角速度を受けて変位する振動子をそれぞれ形成し、かつ上記各振動子の境界域にはこれら振動子を分離すべく上記半導体層に電気絶縁層を形成したことを特徴とする角速度センサ。

引用特許：

審査官引用 (11件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-142764 出願人：キヤノン株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-113910 出願人：株式会社村田製作所
加速度センサ及び角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-255019 出願人：クラリオン株式会社

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