特許

J-GLOBAL ID：200903008085097187

基板縁部測定装置および基板縁部研磨装置

発明者： 多田 光男 ,  須藤 康成 ,  市原 博文 ,  伊藤 賢也 ,  高橋 圭瑞
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (5件)： 大野 聖二 ,  森田 耕司 ,  田中 玲子 ,  北野 健 ,  鈴木 守
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-539168
公開番号（公開出願番号）：特表2008-500907
出願日： 2005年05月23日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：

投受光部(52)は、液体が基板(14)に供給されて縁部(30)に流れる状態で、レーザ光を縁部(30)に投光し、反射光を受光する。信号処理コントローラ(54)は、反射波の電気信号を処理して縁部(30)の状態を判断する。研磨途中の縁部の状態が監視される。また、研磨終点が検知される。レーザ光以外の送信波が用いられてもよい。縁部(30)が流路形成部材で囲まれて、流路が好適に形成されてもよい。液体が基板縁部に流れる状況でも好適に縁部を測定可能にする。

請求項（抜粋）：

基板の縁部の状態を測定する基板縁部測定装置であって、 液体が前記基板に供給されて前記縁部に流れる状態で送信波を前記縁部に送り、前記縁部からの反射波を受ける送受波部と、 前記反射波の信号を処理して前記縁部の状態を判断する受信波処理部と、 を備えたことを特徴とする基板縁部測定装置。

IPC (5件)：

B24B 49/12 ,  B24B 49/10 ,  G01N 21/956 ,  G01N 29/04 ,  G01N 22/00

FI (5件)：

B24B49/12 ,  B24B49/10 ,  G01N21/956 A ,  G01N29/10 506 ,  G01N22/00 S

Fターム (29件)：

2G047AC10 ,  2G047BA03 ,  2G047BC18 ,  2G047CA01 ,  2G047EA10 ,  2G047EA11 ,  2G047EA13 ,  2G047GG33 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051AB08 ,  2G051BA10 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC17 ,  2G051DA05 ,  2G051EC04 ,  3C034AA13 ,  3C034AA17 ,  3C034AA19 ,  3C034CA05 ,  3C034CA22 ,  3C034CB01 ,  3C034CB18 ,  3C034DD10 ,  3C034DD18

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 半導体ウエハエッジ部研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-065207   出願人：新日本製鐵株式会社
• 欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-209107   出願人：株式会社神戸製鋼所, ジェネシス・テクノロジー株式会社
• 内部検査装置,内部検査方法及び更生管用裏込め材の施工検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-334413   出願人：積水化学工業株式会社