特許
J-GLOBAL ID：200903008101428067

単一ツール欠陥分類ソリューション

発明者：
トス・ガボール・ディー.

トス・ガボール・ディー. について

, 
ベイカー・デイビッド・アール.

ベイカー・デイビッド・アール. について


出願人/特許権者：
ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション

ケーエルエー-テンカー テクノロジィース コーポレイション について


代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-514224
公開番号（公開出願番号）：特表2006-525523
出願日： 2004年04月29日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】ウェーハ単位でインラインで効率的に欠陥を分析するための装置および技術を提供する。【解決手段】本発明の実施形態は、単一のセットアッププロシージャにおいて検査および欠陥分析プロセスの全体をセットアップする簡単なインタフェース(158、500)を提供する。ある実施形態において、試料(100)上の欠陥を分析する装置が開示される。この装置は、潜在的な欠陥(102)を探して試料を検査する検査ステーション、およびそのような潜在的な欠陥(104)の分類を決定するために、前記潜在的な欠陥の試料を分析するレビューステーションを含む。
請求項（抜粋）：
試料上の欠陥を分析する方法であって、 潜在的な欠陥を探す前記試料の検査、および前記潜在的な欠陥の欠陥分析を実行するレシピの選択を受け取ること、および 前記選択されたレシピに基づいて、後でユーザ入力を受け取ることなく、潜在的な欠陥を探して前記試料を自動的に検査し、前記選択されたレシピに基づいて自動的に前記潜在的な欠陥を分析し、欠陥情報を提供すること を含む方法。
IPC (3件)：
G01N 23/225 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01N23/225 ,  G01N21/956 A ,  H01L21/66 J
Fターム (37件)：
2G001AA03 ,  2G001AA07 ,  2G001AA10 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001BA30 ,  2G001CA03 ,  2G001CA07 ,  2G001CA10 ,  2G001FA01 ,  2G001FA06 ,  2G001FA09 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001GA11 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA03 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA06 ,  2G001PA01 ,  2G001PA11 ,  2G001PA13 ,  2G001PA30 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC04 ,  2G051BA05 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106CA39 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ27
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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