特許
J-GLOBAL ID：200903064918969857
一括管理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-289964
公開番号（公開出願番号）：特開2003-099113
出願日： 2001年09月21日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：
【要約】【課題】各種装置のレシピを一括管理してその設定や変更が間違いなく簡単に行なうこと。【解決手段】複数の検査・製造装置10-1〜10-4と、各装置に通信手段を介して接続され、各装置に設定されている動作条件に関する情報を一括集中管理し、各検査・製造装置の動作条件を変更する管理手段15とを具備した。
請求項（抜粋）：
複数の検査・製造装置と、各装置に通信手段を介して接続され、前記各装置に設定されている動作条件に関する情報を一括集中管理し、前記各検査・製造装置の動作条件を変更する管理手段と、を具備したことを特徴とする一括管理装置。
IPC (4件)：
G05B 19/418
, G05B 23/02
, G05B 23/02 301
, G06F 17/60 108
G05B 19/418 Z
, G05B 23/02 V
, G05B 23/02 301 V
, G06F 17/60 108
3C100AA38
, 3C100AA57
, 3C100AA65
, 3C100BB33
, 3C100CC02
, 5H223AA05
, 5H223AA15
, 5H223CC08
, 5H223DD03
, 5H223DD07
, 5H223DD09
, 5H223EE06
